半導體

風淋室集中氣流，清除棉絮、污垢、灰塵等污染物，同時人員在專門建造的室內移動。來自噴嘴的高速空氣確保了去除顆粒物質所需的高效洗滌作用。
然後，受污染的空氣流經風淋室的側壁，流經預過濾器和最終的 HEPA 過濾器，然後再次在室內再循環。