半導體
化學-MAC
帶有小風扇的 HEPA 過濾裝置，可以去除氣態污染物。配備超高性能PTFE過濾器和化學過濾器，可去除顆粒物和氣態物質。 PTFE過濾器可捕捉99.9995%以上的0.1μm顆粒，適合高度乾淨的環境。配備無硼PTFE過濾器和化學過濾器。化學過濾器可以選擇酸性氣體、鹼性氣體、鹼性氣體、有機物等去除物件。透過速度控制器可以無段控制風量。您可以透過計時器檢查使用時間。符合 RoHS 標準的產品。
| CHEMI-MAC-32 | CHEMI-MAC-51 | CHEMI-MAC-101 | |
|---|---|---|---|
| 外形尺寸 | 400W x 400D x 250H | 500W x 500D x 250H | 650W x 650D x 250H |
| 過濾器類型 | 主過濾器：PTFE過濾器（ULPA） 化學過濾器：離子交換纖維過濾器 | ||
| 效率 | 99.9995%以上含0.1μm顆粒（二氧化矽） | ||
| 風量（m3/min） | ~3 | ~5 | ~10 |
| 風速（米/秒） | 約0.49 | 約0.47 | 約0.51 |
| 功率（瓦） | 30/37 | 44/46 | 102/119 |
| 重量（公斤） | 約15 | 約20 | 約30 |
| 套管 | 由不銹鋼（SUS304）製成 | ||
| 電源 | AC100V 1Φ50/60Hz | ||
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證書名稱
